作品总结
《软 X 射线和极紫外辐射：原理和应用》
《软 X 射线和极紫外辐射：原理和应用》，这本详细而全面的书描述了软 X 射线和极紫外 (EUV) 辐射的基本特性，并讨论了它们在各个领域的应用，包括用于半导体芯片制造的 EUV 光刻和软 X 射线生物显微镜。作者首先介绍了相关的基本原理，例如辐射和散射、波传播、衍射和相干性。然后，他继续研究广泛的现象和应用。涵盖的主题包括光谱显微镜、EUV 天文学、同步辐射和软 X 射线激光器。作者还提供了大量有用的参考资料，例如电子结合能、特征发射线和光吸收截面。这本书将引起工程、物理、化学和生命科学领域的研究生和研究人员的极大兴趣。它还将吸引从事半导体制造和材料科学的实践工程师。
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