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《光学光刻：这就是为什么，第二版》

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日期：2022-01-21

《光学光刻：这就是为什么，第二版》


《光学光刻：这就是为什么，第二版》，本书是为希望加深对光刻系统成像物理理解的新老工程师、技术经理和高级技术人员编写的。 读者将获得驱动光学光刻的基本方程和常数的知识，了解曝光系统和图像形成的基础知识，并全面了解系统组件、处理和优化。 读者还将了解光刻技术的前景以及增强半导体制造的方法。 第二版融合了作者在研究、教学和世界级大批量制造方面的独特经验，增加了关于邻近印刷的全新材料，以及曝光系统、图像形成、ED 方法、硬件组件、 处理和优化，以及 EUV 和浸没式光刻。
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