·  内联校准的优势：本发明提供的方法和系统允许在需要重新校准（例如由于温度波动）的情况下进行无中断测量，确保了特别高的准确性和效率。此外，多个射频信号之间的幅度和/或相位差异可用于波束成形。

根据提供的文档内容，以下是关于内联校准多个射频信号的方法的详细步骤：

1. **供应多个射频信号到待测设备**：将多个射频信号提供给待测设备，并基于这些射频信号测量待测设备至少一个特性。

2. **监测射频信号的相位和/或幅度**：在向待测设备供应射频信号的过程中，监测每个射频信号的至少相位和/或幅度。

3. **产生监测信号**：基于监测，产生一个指示多个射频信号相对相位和/或幅度的监测信号。

4. **内联调整射频信号**：基于产生的监测信号，内联调整一个、多个或所有射频信号的相应相位和/或幅度，同时这些信号被供应给待测设备。

此外，文档还提到了一些可选的步骤和实施方式，例如：

- 使用多个互连（interconnects）来供应射频信号，并在互连的传输过程中或在待测设备侧监测射频信号。

- 内联调整步骤可以包括数字校正幅度差异、相位差异、群延迟或它们的任何组合。

- 对于宽带调制信号的频率响应非线性进行补偿。

- 校正路径损耗，确保预定的射频信号在待测设备上出现。

- 使用至少一个功率计来校正待测设备级别的每个射频信号的绝对功率水平。

- 互连可以是耦合器、定向耦合器和/或电阻耦合器。