5G和SATCOM（卫星通信）通信正在改变我们的通信方式，并为非凡的机遇铺平道路。

5G技术被编纂在各种版本的3GPP标准中，并且正在全球范围内被快速采用。最初的标准引入了5G新无线电（5G NR），分解的下一代无线接入网（RAN）和基于服务的核心网络架构，并提供超过1 Gbps的数据速率。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了无匹配等离子体源的频率调谐。为了执行频率调谐，在无匹配等离子体源的工作频率发生变化后，在无匹配等离子体源的放大电路的输出端测量电流。在确定电流随着工作频率的变化而增加时，工作频率进一步变化，直到电流减小。当电流减小时，改变的工作频率进一步修改为工作频率。当无匹配的等离子体源以工作频率工作时，放大电路输出端的电流最大化。

Lam Research Corporation 的专利：多状态射频脉冲控制掩模形状和破损选择性与工艺余量权衡（​MULTI-STATE RF PULSING TO CONTROL MASK SHAPE AND BREAKING SELECTIVITY VERSUS PROCESS MARGIN TRADE-OFF）

本专利是提供了用于基板加工中的动态工艺过程控制的方法和系统，例如在半导体制造应用中。提供了一些示例系统和方法，用于原子层沉积（ALD）过程中的先进监控和机器学习。一些示例还涉及动态工艺过程控制和腔室参数匹配和气体管路充电时间的监控。

本公开专利申请文件涉及使用声波谐振器的射频滤波器，特别是用于通信设备中的射频滤波器；

谐振器（Resonant）（纳斯达克股票代码：RESN）表示，村田制作所（OTCPK：MRAAY）旗下的村田电子北美公司将以每股现金4.50美元或2.957亿美元的价格收购所有未被村田拥有的已发行RESN股份。