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日期:2022-06-17
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《纳米级场效应晶体管基础》全面涵盖了纳米级晶体管背后的基本物理原理和理论。充分探讨了纳米级MOSFET出现的具体问题,如量子力学隧穿和反演层量子化。还给出了这些问题的解决方案,例如高κ技术,应变硅技术,替代器件结构和石墨烯技术。书中还给出了有关上述问题和解决方案的一些案例研究。
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