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日期：2022-07-13
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本书介绍晶圆制造的所有主要阶段，从晶体到晶圆的主要工艺过程。本书首先概述了物理学，相关的计量学，工艺建模和质量要求，并继续讨论晶圆成型和晶圆表面制备技术。整个章节以关于晶圆制造研究和未来挑战的章节进行总结。
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