这本施普林格的技术手册全面涵盖了半导体器件的主题,涵盖了从理论背景到制造、建模和应用的各个方面。
来自工业界和学术界的近100名顶尖科学家被选中撰写这本手册的各个章节,而这些章节是为在大学,工业研发和制造商工作的专业人士和从业者,材料科学家,物理学家和电气工程师设计的。
从相关技术方面和制造工艺步骤的描述开始,手册继续使用一个部分,专门介绍主要的常规半导体器件,例如用于生产标准集成电路的双极晶体管和MOS电容器和晶体管,以及相应的物理模型。在随后的章节中,将讨论半导体器件技术的缩放问题,然后描述基于新概念的半导体器件。最后一部分说明了从制造工艺到器件性能的数值模拟方法。
本书的每一章都是独立的,必要时会参考其他章节中处理的相关主题,以便对特定主题感兴趣的读者可以通过手册的大量内容轻松识别个人阅读路径。
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