作品总结
《工艺工程：半导体器件制造分析》
任何从事化学工程领域或负责工艺设计、维护和分析的人都会喜欢《半导体器件制造中的工艺工程分析》，这是目前唯一一本全面涵盖对工艺改进日益增长的兴趣的书籍。现在，比以往任何时候都更明显的是，工艺改进将加强提高半导体器件行业经济效益的努力。
本书的大部分内容包括最近的材料，这些材料具有原始期刊出版物中没有的整合和评论。工作的例子说明了如何使用基本原则来建模工艺。在可能的情况下，将模型与实验数据进行比较，并将模型的成功和/或失败作为学习经验呈现。此外，一系列广泛的问题为读者提供了一个机会，引导读者进入超出本书本身范围的方向。
两位作者在化学工程、工艺工程、电气工程和物理学领域的丰富经验为读者提供了对新技术领域的专家见解和广泛的信息。
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