《功能性氧化物薄膜的化学溶液沉积》

这是第一本涵盖溶液处理功能氧化物薄膜所有方面的书籍。化学溶液沉积（CSD）包括所有基于溶液的薄膜沉积技术，这些技术涉及前驱体在氧化膜形成过程中的化学反应，即溶胶-凝胶型路线、金属-有机分解路线、杂化路线等。虽然通过二氧化硅和二氧化钛在玻璃上光学镀膜的溶胶 - 凝胶型工艺的发展可以追溯到20世纪中叶，但第一批CSD衍生的电子氧化物薄膜，如锆钛酸铅，是在1980年代制备的。从那时起，CSD已成为一种高度灵活且具有成本效益的技术，用于制造各种功能性氧化物薄膜。应用领域包括，例如，集成介电电容器、铁电随机存取存储器、热释电红外探测器、压电微机电系统、减反射涂层、滤光片、导电、透明导电和超导层、发光涂层、气体传感器、薄膜固体氧化物燃料电池和光电催化太阳能电池。在附录中，提供了所选材料系统的详细“烹饪配方”。