《碳化硅材料与器件手册》

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日期:2023-10-04

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作品总结

《碳化硅材料与器件手册》

本手册介绍了 21 世纪功率半导体碳化硅 (SiC) 的关键特性。它描述了相关技术,报告了近年来的快速发展和成就,并讨论了该领域仍然存在的挑战性问题。

本书由15章组成,从该领域权威W. J. Choyke教授的一章开始,分为四个部分。主题包括太阳前碳化硅的历史,气-液-固体生长,3C-SiC / Si的光谱研究,21世纪的发展和挑战;CVD原理和技术,4H-SiC的同质外延,在4H-SiC上生长的立方SiC,SiC热氧化过程和MOS界面,拉曼散射,近红外发光研究,穆勒矩阵椭圆偏振,拉曼显微镜和成像,4H-SiC紫外光电二极管,辐射探测器以及短波长和同步辐射X射线衍射。

这项全面的工作为21世纪的工程,材料和基础科学知识做出了巨大贡献,并将引起材料种植者,设计师,工程师,科学家,研究生和企业家的兴趣。

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