《纳米器件、传感器和 MEMS 的展望和挑战（Outlook and Challenges of Nano Devices, Sensors, and MEMS ）》
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日期：2021-10-28
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作品总结
《纳米器件、传感器和 MEMS 的展望和挑战（Outlook and Challenges of Nano Devices, Sensors, and MEMS ）》
本书为读者提供了纳米半导体器件、MEMS 和传感器的设计、制造、仿真和可靠性的概述，因为它们用于实现下一代物联网。 作者专注于纳米级结构如何与电学和/或光学性能相互作用，如何找到最佳解决方案以实现最佳结果，如何通过模型和模拟设计这些设备，如何提高可靠性，以及有哪些可能 前进的挑战和障碍。
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