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《光掩膜制造技术》

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日期：2021-12-17

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《光掩膜制造技术》


光掩模，集成电路制造的印刷大师，已成为现代半导体制造的必需品。 本书详细介绍了工业光罩生产的科学技术，包括基本原理、工业生产流程和技术演进。

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