在数字步进式扫描频谱分析仪中，我们引入了一种升级版的本地振荡器，它的厉害之处在于能大大减少动态杂散信号。这个动态杂散信号，你可以想象成是频谱分析仪在测量时遇到的“捣乱分子”，它们会干扰到我们的测量结果。而这个新版本地振荡器的绝招，就是巧妙地利用了时间的“随机性”。 具体来说，它内置了一个随机时钟延迟模块，这个模块会生成一个随机的时钟信号，就像给数字直接合成器（DDS）40发了一张“随机牌”，让它在改变本地振荡器步进扫描的单位时间Tstep时，不再是固定的、可预测的，而是变得随机起来。这样一来，那些原本可能按规律出现的动态杂散信号就被打乱了节奏，从而大大降低了它们对测量结果的干扰。

想象一下，你手里有一台超级智能的频谱分析仪，它不仅能分析输入信号的频率和振幅，还能通过一种叫做“相位锁定”的技术，让分析变得更加精准。这台分析仪里面藏着一个电压控制振荡器（VCO），它就像是一个被斜坡发生器精心指挥的小舞者，随着节奏起舞。但这位舞者不仅仅是在跳舞，它还在和输入信号进行一场无声的对话——通过相位误差检测电路，它们不断比较彼此的相位差，就像是在调整舞步，确保VCO的每一次振动都能与输入信号完美同步，实现瞬间的相位锁定。 当VCO与输入信号达到这种默契的同步状态时，它们俩就被送到了一个叫做相关器的舞台上。在这个舞台上，输入信号被巧妙地转换到了频率域，就像是把一首复杂的交响乐分解成了一个个清晰的音符。而更令人惊叹的是，这个过程还能准确地测量出每个频率成分的真实振幅，就像是给每个音符都标上了它应有的音量大小。

频谱分析仪可真是个高科技的宝贝，它巧妙地融合了YIG调谐振荡器（YTO）和YIG调谐滤波器（YTF）两大技术，让信号分析变得更加精准且成本更低。YTO作为扫频本振器，负责根据斜坡信号进行扫频操作；而YTF则作为信号预选择器，专门挑出输入信号中我们需要的频率成分。这样一来，信号的载波与噪声比（C/N）就得到了显著提升，信号质量杠杠的。

传统的扫频信号分析仪，如频谱分析仪和网络分析仪，常常受到扫描速率限制，这极大地限制了它们能够达到的最大扫描速度。然而，现在通过优化滤波器电路，并采用多种技术来处理中频（IF）信号，以补偿快速扫描带来的误差，这些限制被彻底打破了。本发明正是针对这一需求，提出了一种能够显著提升扫频信号分析仪扫描速率的方法和设备。该方法不仅保留了分析仪原有的高精度和准确性，还大大提升了工作效率，使得科研人员和技术人员在进行高频信号分析时能够更加迅速、准确地获取所需数据。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了无匹配等离子体源的频率调谐。为了执行频率调谐，在无匹配等离子体源的工作频率发生变化后，在无匹配等离子体源的放大电路的输出端测量电流。在确定电流随着工作频率的变化而增加时，工作频率进一步变化，直到电流减小。当电流减小时，改变的工作频率进一步修改为工作频率。当无匹配的等离子体源以工作频率工作时，放大电路输出端的电流最大化。

Lam Research Corporation 的专利：多状态射频脉冲控制掩模形状和破损选择性与工艺余量权衡（​MULTI-STATE RF PULSING TO CONTROL MASK SHAPE AND BREAKING SELECTIVITY VERSUS PROCESS MARGIN TRADE-OFF）

本专利是提供了用于基板加工中的动态工艺过程控制的方法和系统，例如在半导体制造应用中。提供了一些示例系统和方法，用于原子层沉积（ALD）过程中的先进监控和机器学习。一些示例还涉及动态工艺过程控制和腔室参数匹配和气体管路充电时间的监控。