频谱分析仪可真是个高科技的宝贝，它巧妙地融合了YIG调谐振荡器（YTO）和YIG调谐滤波器（YTF）两大技术，让信号分析变得更加精准且成本更低。YTO作为扫频本振器，负责根据斜坡信号进行扫频操作；而YTF则作为信号预选择器，专门挑出输入信号中我们需要的频率成分。这样一来，信号的载波与噪声比（C/N）就得到了显著提升，信号质量杠杠的。

传统的扫频信号分析仪，如频谱分析仪和网络分析仪，常常受到扫描速率限制，这极大地限制了它们能够达到的最大扫描速度。然而，现在通过优化滤波器电路，并采用多种技术来处理中频（IF）信号，以补偿快速扫描带来的误差，这些限制被彻底打破了。本发明正是针对这一需求，提出了一种能够显著提升扫频信号分析仪扫描速率的方法和设备。该方法不仅保留了分析仪原有的高精度和准确性，还大大提升了工作效率，使得科研人员和技术人员在进行高频信号分析时能够更加迅速、准确地获取所需数据。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了用于多级脉冲和射频（RF）信号频率的多级脉冲的系统参数​和方法。参数从低电平脉冲到高电平脉冲。同时对脉冲​参数和频率进行调节，以提高晶圆的加工速率，增加掩模选择性，并减少等离子体腔室内离子的角度扩散。

本专利描述了无匹配等离子体源的频率调谐。为了执行频率调谐，在无匹配等离子体源的工作频率发生变化后，在无匹配等离子体源的放大电路的输出端测量电流。在确定电流随着工作频率的变化而增加时，工作频率进一步变化，直到电流减小。当电流减小时，改变的工作频率进一步修改为工作频率。当无匹配的等离子体源以工作频率工作时，放大电路输出端的电流最大化。

Lam Research Corporation 的专利：多状态射频脉冲控制掩模形状和破损选择性与工艺余量权衡（​MULTI-STATE RF PULSING TO CONTROL MASK SHAPE AND BREAKING SELECTIVITY VERSUS PROCESS MARGIN TRADE-OFF）

本专利是提供了用于基板加工中的动态工艺过程控制的方法和系统，例如在半导体制造应用中。提供了一些示例系统和方法，用于原子层沉积（ALD）过程中的先进监控和机器学习。一些示例还涉及动态工艺过程控制和腔室参数匹配和气体管路充电时间的监控。

本公开专利申请文件涉及使用声波谐振器的射频滤波器，特别是用于通信设备中的射频滤波器；

移动通信设备，化学和生物测试设备以及其他电子设备使用小巧轻便的滤波器，振荡器，谐振元件和/或声学谐振器。