《应变硅异质结构:材料和器件》

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日期:2022-05-31

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作品总结

《应变硅异质结构:材料和器件》

本书全面涵盖了硅异构材料系统中新器件领域的材料生长、表征和描述。近年来,分子束外延(MBE)、超高真空化学气相沉积(UHVCVD)等强力外延生长技术的发展,催生了硅基材料带隙工程研究的新领域。这不仅为异质结双极性和场效应晶体管铺平了道路,也为其他迷人的新型量子器件铺平了道路。本书为研究生和研究科学家提供了极好的介绍和有价值的参考。

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