《工艺处理技术中的微波等离子体源和方法(Microwave Plasma Sources and Methods in Processing Technology)》

本书是微波等离子体在各种压力下的工艺应用中的实用介绍；

在《工艺处理技术中的微波等离子体源和方法》一书中，一个屡获殊荣的研究团队全面介绍了微波和微波产生的等离子体。本书非常适合对非热气体放电等离子体及其应用感兴趣的任何人，包括有关微波功率、微波组件、等离子体和等离子体发生研究和使用的详细说明、解释和实用指南。

在这本实用的参考书籍中包括 130 多个全彩图表，以说明其中讨论的概念。杰出的作者讨论了在不同功率水平下产生的等离子体，以及它们在降低、大气和更高压力下的应用。他们还描述了液体内部的等离子体以及与燃烧火焰的等离子体之间的相互作用。

《工艺处理技术中的微波等离子体源和方法》最后对微波放电研究和应用的新趋势进行了精辟的探索，提供了有前途的新研究领域。

本书还包括：

• 全面介绍微波技术和功率系统的基本原理，包括技术历史、微波发生器、波导和波传播
• 全面探索气体放电等离子体物理学的基本原理，包括等离子体生成、汤森系数和帕邢曲线
• 等离子体与固体表面和气体之间相互作用的实际讨论，包括 PVD、PE CVD、氧化、溅射、蒸发、干法蚀刻、表面活化和清洁
• 深入检查微波等离子体系统，用于不同参数的等离子体处理

《工艺处理技术中的微波等离子体源和方法》非常适合微波界的研究人员和工程师，以及从事等离子体应用工作的人员，同时本书将在学习工程物理、微波工程和等离子体的研究生和博士生的书目中占有一席之地。