《硅VLSI技术:基础、实践和建模》

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日期:2023-08-17

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作品总结

《硅VLSI技术:基础、实践和建模》

本书采用独特的方法,提供了 硅技术的综合视图,重点是现代计算机仿真。 它不仅描述了与硅芯片制造中使用的技术相关的制造实践,还描述了这些技术的基本科学基础。 

本书的内容包括:

-现代CMOS技术。

-晶体生长,晶圆制造和硅晶片的基本性能。

-半导体制造

--洁净室,晶圆清洁和盖特。

--光刻。

--热氧化和Si/SiO2界面。

--掺杂扩散。

--离子注入。

--薄膜扩散。

--蚀刻。

--后端技术。 

本书面向所有对制造工艺感兴趣的人。

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