作品总结
《半导体材料和工艺的物理化学知识》
《半导体材料和工艺的物理化学知识》随着离子固体导电性的发现，固态器件的发展开始于一个多世纪前。今天，固态技术构成了我们所生活的社会的背景。
本书的目的有三个：介绍半导体器件技术所基于的背景物理化学；其次，描述具体问题，例如缺陷对固体性质的作用，以及表面性质的关键影响；最后，研究半导体生长过程的物理和化学，包括块体和薄膜水平，以及与纳米器件特性相关的一些问题。
分为五章，内容包括：
- 固体的热力学，包括相及其性质和结构顺序
- 半导体中的点缺陷
- 半导体中的扩展缺陷及其与点缺陷和杂质的相互作用
- 半导体材料的生长
- 半导体材料加工物理化学
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