作品总结
《等离子加工原理讲义》
《等离子加工原理讲义》半导体的等离子体处理是一个跨学科领域，需要等离子体物理和化学工程的知识。两位作者都是这些领域的专家，他们的合作导致了这些领域与通用术语的合并。基本的等离子体概念可以轻松地介绍给那些学习过电磁学本科但以前没有接触过等离子体的人。省略了不必要的详细推导；然而，读者可以在一定程度上深入理解那些在等离子体处理反应器的设计和操作中很重要的概念，例如护套的结构。向不习惯低温等离子体的物理学家介绍化学动力学、表面科学和分子光谱学。该材料已被压缩以适合为期九周的研究生课程，但足以让读者了解当前问题，例如铜互连、低 k 和高 k 电介质以及氧化物损伤。学生将欣赏网络风格的布局，文本对面有充足的彩色插图，并有充足的笔记空间。
这本简短的书非常适合半导体行业的新员工，他们希望以最少的努力快速上手。也适合学习材料等离子加工的化学工程专业学生；想要快速了解等离子体在该行业中的使用情况的进入半导体行业的工程师、物理学家和技术人员。
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