作品总结
《体硅微技术的形状和功能元素：湿法蚀刻硅结构手册》
《体硅微技术的形状和功能元素：湿法蚀刻硅结构手册》本手册的构思由作者和 Birgit Hannemann（现为德国不来梅应用科学大学教授）创建，作为德国开姆尼茨理工大学几年调查结果的内部目录。在这个基地提供调查和手稿的编写得到了德国波恩的 Stiftung Industrieforschung 的支持。在此过程中，作者 Eva Gärtner、Steffi Krönert 和 Cornelia Kowol 的同事直接参与其中。所有 SEM 图片均来自开姆尼茨理工大学的crotechnologies 中心（负责人：Thomas Gessner 教授）进行的准备工作。作者和他的同事希望对 Wolfgang Bräuer（掩模设计）、Norbert Zichner（工艺）、Iris Höbelt（SEM 图片）和学生 Karin Preißler（手稿布局支持）表示感谢。特别感谢 Stiftung Industrieforschung 的财政支持和 Springer V-lag 对本手册的编辑。
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