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《VLSI时代的硅加工，第3卷：亚微米MOSFET》

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日期：2023-05-13

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《VLSI时代的硅加工，第3卷：亚微米MOSFET》

《第 3 卷：亚微米 MOSFET》讨论亚微米MOSFET器件物理的主题以及此类器件物理与亚微米MOSFET制造之间的关系。

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