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等离子表面处理在半导体制造中有很多用途。

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使用场探头可能看起来很简单； 然而，使用场探头的许多方面都会影响 RF 测量的准确性。 在进行现场测量时，应考虑探头安装位置和方向以及附加场贡献的来源。

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