作品总结
《Si、SiGe 和 GaAs 集成电路的计算机辅助设计技术》
这是业界第一本书涉及广泛的工艺和器件设计，以及与各种半导体器件相关的建模问题的书籍。本专著试图弥合使用 TCAD 进行器件建模和工艺设计之间的差距。
本书以Si-，SiGe-，GaAs和InP为基础的异质结构类型为例，全面介绍了半导体新兴领域的视角，涵盖了从材料到制造，器件，建模和应用的主题。本书是面向通过技术CAD参与微电子技术和器件设计的研发工程师和科学家，以及TCAD工程师和开发人员的。
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